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产品名称：	XP-703DⅢ半导体材料气体检测
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产品特点：	XP-703DⅢ半导体材料气体检测检测对象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3 检测浓度 1.0μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.2μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.3μmol/mol 检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式应用行业半导体制造

XP-703DⅢ半导体材料气体检测的详细资料：

XP-703DⅢ半导体材料气体检测

检测对象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

检测浓度

1.0μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.2μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.3μmol/mol

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

应用行业

半导体制造

XP-703DⅢ半导体材料气体检测

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01.产品特点

· 小型·轻量

· 可以检查非常微量的气体泄漏

· 适合氢气相关设备的安全防护

· 搭载的泵有自动停止功能

· 搭载[自动气体排气模式]功能

· 保护等级约为IP22（JIS C 0920）安装皮套时

02.产品用途

· 半导体工厂/石油化学工厂等

· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.产品参数

型号XP-703DⅢ

检测对象气体半导体材料气体(砷烷、磷化氢、硅烷、氢气)

检测原理热线型半导体式

采样方式自动吸引式

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